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不同的排放場合和不同的廢氣，有不同的工藝流程。但不論采取哪種。催化燃燒設備工藝流程都由如下工藝單元組成。
1、為了防止催化燃燒催化劑床層的阻塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前有必要進行預處理，以除掉廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物；
2、預熱設備包括廢氣預熱設備和催化劑焚燒器預熱設備。由于催化燃燒催化劑都有一個催化活性溫度，對催化焚燒來說稱催化劑起燃溫度，有必要使廢氣和床層的溫度達到起燃溫度才能進行催化焚燒，因此，有必要設置預熱設備。但關于排出的廢氣本身溫度就較高的場合，如漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可達300℃以上，則不用設置預熱設備。預熱設備加熱后的熱氣可采用換熱器和床層內布管的方式。預熱器的熱源可采用煙道氣或電加熱，目前采用電加熱較多。當催化反響開端后，可盡量以收回的反響熱來預熱廢氣。在反響熱較大的場合，還應設置廢熱收回設備，以節約動力。預熱廢氣的熱源溫度一般都超過催化劑的活性溫度。為保護催化劑，加熱設備應與催化焚燒設備堅持必定間隔，這樣還能使廢氣溫度散布均勻。從需求預熱這一點出發，催化焚燒法適用于連續排氣的凈化，若間歇排氣，不僅每次預熱需求耗能，反響熱也無法收回利用，會造成很大的動力浪費，在規劃和選擇時應留意這一點；
3、催化燃燒設備一般采用固定床催化反響器。反響器的規劃按規范進行，應便于操作，維修便利，便于裝卸催化劑。在進行催化焚燒的工藝規劃時，應依據具體情況，關于處理氣量較大的場合，規劃成分建式流程，即預熱器、反響器獨立裝設，其間用管道銜接。關于處理氣量小的場合，可采用催化焚燒爐，把預熱與反響組合在一起，但要留意預熱段與反響段間的間隔。在有機物廢氣的催化燃燒中，所要處理的有機物廢氣在高溫下與空氣混合易引起爆破，安全問題十分重要。因此，一方面有必要操控有機物與空氣的混合比，使之在爆破下限；另一方面，催化焚燒體系應設監測報警設備和有防爆措施。
在設備的進口設置了阻火除塵設備，將生產線和處理設備之間的任何風險斷開，同時處理廢氣源中的塵埃，保證廢氣的潔凈度。設備正常作業。阻火器應能有效地防止火焰經過。
在催化反響室內設置了泄壓口，當設備內部的壓力 30-80Kpa 之間時，主動泄壓，使設備一直在安全狀況下運行。
催化燃燒設備的金屬外殼應有明顯的接地標志，金屬殼體或可能帶電的金屬部位（包括因絕絕緣損壞可能帶電的金屬件）與接地螺釘間的電阻不大于 0.1 歐姆。設備的絕緣電阻不小于 2MΩ。設備的帶電部分與外殼之間應能承受頻率為 50HZ，電壓為 2000V。繼續 1min 的耐壓實驗，不得發生擊穿和閃絡現象。
電加熱組件能夠依據廢氣的溫度崎嶇，主動操控補償和中止；當反響溫度出現高溫時，主動中止電加熱的電源，溫度降低后會主動起動，康復正常作業。
操控體系上顯示廢氣預熱溫和氣體反響溫度，能夠清楚了解氣體氧化分化效果。
能夠從操控體系中了解電加熱組件作業狀況及電加熱組件的完好狀況，電源均有杰出地接地和保護措施。
整個體系為負壓作業方式，廢氣不存在外溢現象。
設備外外表用絕緣保溫材料進行保溫，使外表的外殼溫升為 46-50℃，整個設備的絕緣電阻小于 2MΩ。
